防靜電 DLC 塗層是一（yī）種具有防靜電功（gōng）能的類金剛石碳塗層，以下是關於它的介紹：

原理

增加電子傳導通道：通過調整 DLC 塗（tú）層的成分或結（jié）構，引入具有良好導電性的物質或形成特定的微觀結構，為（wéi）電子提供傳導通道，使物體表麵產生的靜電能夠快速（sù）傳導到其他部（bù）位，避免靜電積聚。

降低表（biǎo）麵電阻：改變塗層表麵的（de）電學性質，使表麵電阻降低到一定程度，從而讓（ràng）靜電能夠（gòu）更容易地散逸。

性能特點（diǎn）

防靜電性能穩定（dìng）：可將（jiāng）靜電放電值（ESD）穩定在一定範圍內，如有的防靜電 DLC 塗層 ESD 平均值能達到 1e7ω/sq 以上。

兼具 DLC 塗層的優良特性：具（jù）有高硬度，維氏硬度（dù）測試值通常在（zài） 5000-9000hv 之（zhī）間，能有效抵抗磨損；低摩擦係數，可（kě）減少部件（jiàn）間的摩擦（cā）損耗；良好的化學穩定（dìng）性，能抵禦酸、堿等化學物質的侵蝕。

絕緣性可調節（jiē）：通過工藝控製和成分調整，可使塗層在具（jù）有防靜電性能的同時，具備一定的絕緣性能，滿（mǎn）足不同（tóng）應用場景對電學（xué）性能的要求。

應（yīng）用（yòng）領域

半導體行業：用於半（bàn）導體生產設備、晶圓承載器、夾具等，防止靜電對（duì）半導體（tǐ）芯片、電子元（yuán）器件造成損害，保證生產過程的穩（wěn）定性和產品質量（liàng）。

電子（zǐ）設備製造（zào）：如（rú）手機、電（diàn）腦、平板等電子設備的外殼、內部零部件，可防止靜電積累導致的電路故障、屏幕靜電吸附灰塵（chén）等問（wèn）題，提升設備的性能和可靠性。

光學領域：在光學鏡頭、顯示屏等（děng）表麵塗覆，既（jì）能防靜電又（yòu）能保護光學元（yuán）件，減少灰塵吸附，提高光學性能和顯示效果。

醫療設備：醫療儀器、手術器械、醫療植（zhí）入物等表麵使用防靜電 DLC 塗層，可防止靜（jìng）電對人體組織（zhī）和電子元件的不良影響，同時（shí）利用其生（shēng）物相容性和耐磨性等特性，提高醫療設（shè）備的（de）安全性和（hé）使用壽命。

製備方法

物理氣相沉（chén）積（PVD）：如（rú）濺射法（fǎ）、電弧（hú）離子（zǐ）鍍等（děng），將碳源物質蒸發或濺（jiàn）射到基底表麵形成 DLC 薄（báo）膜，通過控製工藝參數和（hé）添加特定元素，實現防靜電性能。

化學氣相沉積（CVD）：如等離子增強化學氣相沉積（PECVD），在沉積過程中引入射頻等離子體，增強反應活性，在相對較低的溫度下生長出（chū）具（jù）有防靜電功能的（de） DLC 塗層。